Descrizione dei prodotti
Il cuore della produzione in camera bianca,Pompe per vuoto a semiconduttoresono progettati con precisione-per soddisfare i requisiti eccezionalmente rigorosi della fabbricazione microelettronica. Queste pompe sono progettate per fornire un ambiente di vuoto perfettamente pulito, stabile e privo di vibrazioni-, il che è assolutamente fondamentale per i processi in cui anche la contaminazione microscopica può portare a guasti catastrofici del prodotto.prodottoutilizzano universalmente design-privi di olio e resistenti alla corrosione-, spesso utilizzando materiali specializzati in grado di resistere ai gas di processo aggressivi. Raggiungono i livelli di vuoto elevati necessari, in genere fino a 0,001 Pascal, con portate regolabili e sono progettati per presentare profili di vibrazione estremamente bassi per prevenire danni alle delicate nanostrutture.
La loro filosofia di progettazione modulare consente un'integrazione diretta in set di strumenti complessi e facilita la manutenzione, il che è fondamentale per ridurre al minimo i costosi tempi di fermo degli strumenti. L'applicazione principale diPompe per vuoto a semiconduttoreè, come suggerisce il nome, nell'industria dei semiconduttori, dove vengono utilizzati praticamente in ogni fase della produzione dei chip, dall'attacco e deposizione all'impianto ionico e alla litografia. Sono anche vitali in campi correlati come l’imballaggio elettronico e la produzione di celle fotovoltaiche. Oltre all'elettronica, queste pompe vengono utilizzate nei macchinari per la gomma e la plastica per la lavorazione di materiali semiconduttori-di elevata purezza. Nell'imballaggio alimentare, aiutano a sviluppare imballaggi specializzati per componenti elettronici sensibili. All'interno dei sistemi di rivestimento sottovuoto dedicati,prodottosono essenziali per eseguire processi di rivestimento di grado-semiconduttori che richiedono la massima purezza e affidabilità. Quando il successo del tuo processo dipende da un vuoto immacolato e incrollabile,Pompe per vuoto a semiconduttoresono la soluzione definitiva e affidabile.
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Parametri di base |
tipoNumero |
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DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
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Velocità di pompaggio, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
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Pressione finale, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
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Velocità di rotazione, giri/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
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Rumore Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
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Consumo massimo di acqua, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
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Diametro ingresso mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
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Diametro porta di scarico, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
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Potenza motore, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
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Peso testa pompa kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Etichetta sexy: pompe per vuoto a semiconduttore, produttori di pompe per vuoto a semiconduttore in Cina, fornitori, fabbrica