Una pompa per vuoto a pressione negativa funziona estraendo meccanicamente o fisicamente le molecole di gas da uno spazio sigillato, creando un ambiente a pressione negativa inferiore alla pressione atmosferica all'interno della camera della pompa. Il suo principio fondamentale è la rotazione ad alta-velocità o il movimento alternativo di parti mobili come rotori, pale o vortici, che aspira il gas attraverso l'ingresso, lo comprime e quindi lo scarica attraverso l'uscita, creando un ambiente sottovuoto. Il processo specifico può essere suddiviso nelle seguenti tre fasi:
Fase di aspirazione: il gas entra nella camera della pompa attraverso la porta di aspirazione (ad esempio, diametro 40 mm). In questo momento, il rotore o le pale si muovono, aumentando il volume della camera e riducendo la pressione interna.
Fase di compressione: mentre le parti mobili continuano a ruotare (ad esempio, 1470 giri/min), il gas viene compresso alla pressione di scarico (ad esempio, 32 mbar di pressione del vapore acqueo).
Fase di scarico: il gas compresso viene scaricato attraverso la valvola di scarico. Allo stesso tempo, il sistema di lubrificazione ad olio (ad esempio, tipo di olio UL19) garantisce tenuta e dissipazione del calore (temperatura di esercizio 12-40 gradi).